随着半导体产业的快速发展，晶圆制造过程中产生的废水处理与回用成为环保和资源节约的重要议题。特别是在晶圆切割这一关键工序中，为了确保产品质量，通?；崾褂么罅康母叽慷人魑淙匆汉颓逑醇?，这导致了大量废水的产生。这些废水不仅含有微粒、化学物质等污染物，还因为其高纯度而具有回收利用的价值。因此，开发晶圆切割废水处理及回用技术对于实现绿色制造至关重要。