随着微电子技术的不断进步，集成电路的制造工艺日益复杂，其中刻蚀环节作为关键步骤之一，不仅对产品性能至关重要，同时也产生了大量含有特殊化学物质的废水?？淌捶纤蚱涑煞指丛?、毒性大、处理难度高而成为环境?；ち煊虻囊淮筇粽?。因此，研发高效、经济且环境友好的刻蚀废水处理与回用技术，对于推动电子制造业的可持续发展具有重大意义。